碳含量对TiAlCN涂层的影响:结合性能与抗磨损性能

摘要

本研究通过磁控溅射法制备不同碳含量的TiAlCN涂层.通过划痕仪表征了涂层的临界载荷和抗磨损能力;采用显微硬度计、扫描电镜、色散能谱仪和光学显微镜,研究了碳含量对上述性能的作用机理.结果表明,随着碳含量的增加,TiAlCN涂层硬度先增加后减小,靶材中石墨含量为50％时,所沉积的涂层硬度达到最大值.随着碳含量的增加,TiAlCN涂层的临界载荷不断下降;而在70N载荷下,硬度最大的TiAlCN涂层具有最大的抗磨损性能.