我国军工微电子专用化工材料现状及发展

摘要

本文根据我国微电子技术发展对与之配套的微电子化工材料的要求,阐述了超净高纯试剂、光刻胶和电子特种气体的应用、状况、需要解决的关键技术和发展方向。