钛表面外延生长弛豫铁电薄膜水热工艺研究

摘要

Pb(Zn1/3Nb2/3)O3(PZN)弛豫铁电陶瓷是一种高介电、高机电耦合系数以及较高居里温度的介质材料.PZN薄膜在微位移器、微传感器等领域有广阔的应用前景.本文采用氧化物为原料,以金属钛为基底,在150℃的低温下水热法外延生长了PZN薄膜.研究发现:矿化剂的初始浓度对于薄膜的质量有着至关重要的影响;所制备PZN薄膜颗粒均匀,表面致密没有裂纹。