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超净高纯水制备工艺的研究

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本文讨论了运用亚沸蒸馏技术制备高纯水的提纯工艺.该工艺以去离子水为原料,采用两级亚沸蒸馏方法,提纯出高纯水,其主要金属离子浓度含量均小于0.1ppb.同时讨论了影响产品速率的工艺条件.

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来源
《2006全国电子化学品发展研讨会》|2006年|156-160|共5页
会议地点江苏无锡
作者
方芳; 徐志刚;
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作者单位

中国精细化工协会;

中国电子材料行业协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类工业用水、水的处理;
关键词
高纯水; 亚沸蒸馏; 金属离子检测; 去离子水;

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