首页> 中文会议>第八届中国微米/纳米技术学术年会 >采用RIE沉积法研制微纳工艺中的防粘连层

采用RIE沉积法研制微纳工艺中的防粘连层

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

摩擦和粘附问题已经成为影响微机电系统(MEMS)工艺性能和可靠性的主要因素.本文针对MEMS/NEMS中微构件表面改性问题,采用反应离子刻蚀(RIE)在硅片表面沉积氟化物薄膜,以达到降低硅片的表面能,减少其摩擦和粘附的目的.实验还将RIE沉积法制得的薄膜与自组装(SAMs)薄膜在浸润角、表面能、表面粗糙度等方面进行了对比.

著录项

来源
《第八届中国微米/纳米技术学术年会》|2006年|1395-13971400|共4页
会议地点南京
作者
顾盼; 刘景全; 陈迪; 孙洪文;
展开▼
作者单位

中国微米/纳米技术学会;

中国仪器仪表学会;

中国机械工程学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺;电气测量技术及仪器;
关键词
反应离子刻蚀; 表面能; 微机电系统; 防粘连膜;
入库时间 2022-08-17 10:40:30

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 采用RIE沉积法研制微纳工艺中的防粘连层 [J] . 顾盼 ,刘景全 ,陈迪 . 传感技术学报 . 2006,第005期
2. 采用RIE沉积法研制微纳工艺中的防粘连层 [J] . 顾盼 ,刘景全 ,陈迪 . 传感技术学报 . 2006,第05A期
3. 微纳工艺中防粘连自组装薄膜技术的研究 [J] . 顾盼 ,刘景全 ,孙洪文 . 微细加工技术 . 2006,第006期
4. 原子层沉积技术在微纳器件中的应用研究进展 [J] . 李惠琴 ,陈晓勇 ,王成 . 表面技术 . 2015,第2期
5. 微纳器件中电沉积铜工艺的研究 [J] . 魏秀燕 . 冶金与材料 . 2017,第005期
6. TEVA树脂微色层-微沉淀法测量放射性污染土壤中的钚 [C] . 陈静 ,靳小军 ,陈文若 . 第四届全国核化学与放射化学青年学术研讨会 . 2017
7. 微纳电极制备、纳电极表面吸附行为及电沉积初步研究 [A] . 苏宝法 . 2011

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号