玻璃基集成光功率分配器的研究

摘要

本文利用电场辅助离子交换法在玻璃基上制作低损耗光波导.得到的单模波导传输损耗可以达到＜0.2dB/cm.在此基础上制作出Y分叉级联1×4,1×8,1×16,1×32光功分器,器件损耗低、均匀性好、尺寸小.经过封装测试,器件的主要指标达到了产品的标准.该工艺成本低、一致性好,适合大规模批量生产.