基于柔性衬底太阳能电池的ITO透明导电膜研究

摘要

本文通过改进设备用电子束蒸发在衬底温度为100℃、氧分压为5×10-2Pa工艺条件下制备ITO薄膜,并使用台阶仪、分光光度计、XRD等测试手段分析了薄膜的结构和性能,所制得ITO膜在膜厚为100nm左右时,电阻率在2.7-4.5×10-4Ω·cm之间,可见光内的透过率在90﹪左右.对比ZnO:Al(ZAO)膜和ITO膜两种透明顶电极在柔性衬底太阳电池上的应用,分析ITO透明顶电极对电池的影响及其原因.