关于半导体工厂电压波动的一种解决对策

摘要

毫秒级的电压波动,足以使得半导体工厂的工艺设备发生停机从而中断工艺生产,而生产线恢复运行也不只是重新按下电源按钮那么简单.每一次的电网电压波动,对于一个没有自我保护对策的大型半导体工厂而言,至少花费4个小时以上,并且损失至少一百多万美元.因此,传统的"补偿法"已无法抵抗大量工艺设备对电压波动的敏感程度.通过对半导体工厂的工艺设备对电压波动的敏感程度的分析,对传统抗电压波动的"补偿法"的分析,以及采用了"开关法"抗电压波动的原理及案例介绍.本文试图引入一种解决电网电压波动的全新方法或是概念,就如同我们第一次将SSTS(Solid-StateTransferSwitch)设备引入上海华虹NEC电子有限公司,把它作为解决电网电压波动的对策.通过五年多的实际应用证明,这一方法是有效的:因电压波动引起工艺设备发生停机的事件由原来平均每周1次,降低到平均每年只有1～2次.