在线平面度测量仪

摘要

传统上使用自准直仪、水平仪、电子水平仪和样板尺等来测量水平安放的标准平板和工件的平面度.但对于竖直的平面,如采用自准直仪、样板尺等,测量将十分繁杂,效率相当低下.激光跟踪仪可以测量任意方向平面的平面度误差,其精度完全能满足工程测量要求,但价格贵,对环境要求高,需要二人以上才能测量。测量效率虽高于传统的平面度测量方法,但不能满足工厂生产线上在线快速测量的要求.现已研发了3m×2m大平面平面度全自动测量仪,通过49支大行程电感传感器测量被测面上49点的空间位置尺寸,通过计算机得到被测面的平面度和它的三维形貌图.其主要技术参数为:测量面积为3m×2m,平面度测量范围为±10mm,测量不确定度为0.1mm,测量周期＜15s.