溶胶-凝胶法制备SiO2增透膜

摘要

利用溶胶-凝胶法在碱性条件下和K9玻璃上提拉制备了SiO2增透膜.研究了溶胶浓度(SiO2含量)对膜层增透性能的影响;镀膜提拉速度对膜层透过率、表面粗糙度的影响.结果表明溶胶浓度对膜层增透波段有决定性的影响.在特定波长镀膜提拉速度对膜层透过率的影响呈先增加后减小的规律,基频处在100mm/min附近出现透过率最大值.镀膜提拉速度越慢,膜层的表面粗糙度越好。