ESEM中裙散电子对微区元素定量分析结果的影响

摘要

目的：探讨裙散电子对能谱微区分析结果的影响。方法 在不同工作距离和样品室气压下,测定高纯铜板不同位置处铜元素与样品台元素的含量。结果 低真空和环境状态下进行微区分析,裙散的影响范围可达毫米量级以上。结论 环境状态下进行微区或颗粒分析,应尽量采用短工作距离和高真空度。