用于强激光系统的取样光栅减反射膜的研究

摘要

使用严格的耦合波理论分析了强激光系统镀sol-gel减反膜的取样光栅(BSG)特性,详细的分析了仿形膜和平面膜的减反情况和取样效率的变化.结果表明,镀平面膜是一种可行的技术方案,裸光栅的深度d是12nm时,膜厚dp为60nm,即光学厚度为1/4波长:d+dp=72nm.此时的取样效率为0.241‰.或者保证取样效率是1‰,则有dp=60nm,d=25nm;与未镀膜的裸光栅相比,采用文中所述方法设计的镀膜光栅有很好的减反增透效果,具有良好的应用前景.