超声波激励微管道内的流场研究

摘要

本文首先应用声流的基本理论，建立起基于MEMS技术制造的微流体装置的一维解析模型，分析了声场对微管道内流体运动的影响，并利用有限元分析软件ANSYS对超声波激励的微管道进行流体-结构耦合场数值分析，得到微管道内声压、频率以及流场的速度和驱动力分布的结果。