超高真空系统中使用的金属波纹管

摘要

金属波纹管是超高真空中经常使用的部件之一。随着科学技术的发展，波纹管的应用领域正在日趋扩大。金属波纹管分为三大类：液压波纹管、焊接波纹管和电成形波纹管。超高真空中使用的波纹管，其主要用途可分为：作为密封元件；作为能量传递或者吸收元件：补偿连接元器件的长度，角度，方向变化。例如在加速器隧道内连接两段真空盒，既是作为密封元件，又可以吸收两端真空盒的热变形。在真空捡漏过程中，经常使用便利的液压波纹管作为挠性元件。真空阀门内部更是少不了波纹管的使用。