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高k介质薄膜研究的新进展

著录项

  • 来源
  • 会议地点 兰州
  • 作者

    叶位彬; 黄光周; 马国欣;

  • 作者单位

    中国真空学会;

    中国电子学会;

    中国光学学会;

    中国物理学会;

    中国机械工程学会;

    中国材料研究学会;

    中国仪器仪表学会;

  • 会议组织
  • 正文语种
  • 原文格式 PDF
  • 中图分类
  • 关键词

  • 入库时间 2022-08-17 10:27:47

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