可调的透明导电膜研究进展

摘要

简述了透明导电薄膜材料,特别是对目前研究比较活跃的透明导电氧化物(TCO)及金属基复合透明导电多层膜的发展现况和趋势；同时从选材、膜层设计、制备方法到工艺制定,研究透明导电膜光电性能诸多影响因素和规律,探讨D/M/D多层膜的微观结构与其光电性能的内在联系,以及多层膜的热稳定性和界面反应等问题,并采用电介质TiO2与金属Ag交替生成TiO2/Ag/TiO2三明治结构制备了几种具有优异光电性能的透明导电膜。经优化设计的纳米多层膜具有奇特的光电性能可调性,根据需要,用于平面显示器透明电极,太阳能电池板等的在可见光区具有高的透过率(T550≥90％)和在红外光区高的反射率(R2500≥90％),其方块电阻仅为5Ω/sq；而用于紫外固化的则在紫外固化的主峰365nm处具有高的透射率(T365≥80％),而在1600nm的红外波段反射率也超过了90％。