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静电电荷分析仪校准方法研究

摘要

本文研究了静电电荷分析仪(也称为充电平板分析仪CPM)的测量原理,分析了其计量特性,并提出了平板电压、衰减时间、平板电容、门限电压、安全性、平板尺寸和平板绝缘性等参数的校准和测量方法.

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