超声电解同步复合微细加工中微位移的实现与检测

摘要

为完善超声电解同步复合微器件微细加工试验系统，设计了微位移工作台和超声阴极工具头微进给机械结构，提出了相应的微位移检测和进给控制方案，进行了一系列基础工艺试验，展示了该技术在提高微细加工精度、加工效率、表面质量等方面的优势，研究成果具有重要理论意义与实用价值。