超润滑类金刚石薄膜的制备

摘要

利用脉冲直流辉光放电技术在单晶硅表面制备了具有特殊结构的氢化类金刚石薄膜。在球盘摩擦磨损试验机上考察了薄膜在空气气氛下的摩擦磨损性能,利用SEM和XPS观察和分析了摩擦表面形貌和化学状态的变化。结果表明：该薄膜在空气下具有超润滑特性。XPS碳谱分析表明：该氢化类金刚石薄膜在摩擦过程中没有发生较明显的氧化反应。