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以PVP为添加剂的BST薄膜制备与结晶性能研究

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用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/Si02/Si(100)基片上沉积Ba0.6Sr04TiO3薄膜,采用SEM,XRD,AFM分析薄膜的表面形貌和结晶行为.为抑制薄膜裂纹,在前驱体溶液中加入高分子聚合物聚乙烯吡咯烷酮(PVP).在700℃保温1小时的退火条件下,得到表面平整、致密、无裂纹和孔洞,晶粒取向高度一致的薄膜.薄膜的晶粒大小和表面粗糙度随退火温度的升高而增大.

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来源
《电子科技大学电子科学技术研究院第三届学术交流会》|2007年|207-210|共4页
会议地点成都
作者
Li En-qiu; 李恩求; Liao Jia-xuan; 廖家轩;
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作者单位

电子科技大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TM22:TM205;
关键词
钛酸锶钡薄膜; 聚乙烯吡咯烷酮; 溶胶凝胶法; 结晶性能;

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