MEMS系统级设计及与IC设计接口软件的研究

摘要

提出了一种MEMS器件系统级设计与仿真系统软件体系结构与实现方法,该系统支持与IC设计的接口。系统由多个软件模块构成,支持MEMS器件版图输入与编辑、工艺流程与工艺参数编辑、MEMS器件三维结构生成、图形显示、单元解析与SPICE网表生成、MEMS器件结构参数自动优化等设计。详细介绍了系统结构及功能,并以典型MEMS器件为例说明设计过程。