锗硅HBT生产中的参数控制和成品率控制

摘要

介绍了锗硅HBT生产中获得的关于参数控制与成品率控制方面的经验。论述了生产中的标准工艺模块及其监控手段,以及影响EB结击穿电压、β、接触电阻和微波参数等方面的因素,以及成品率控制方面的经验。