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复合CrCO-Ti保护薄膜的热稳定性研究

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用非平衡脉冲直流磁控溅射技术制备出了复合CrCO-Ti和CrCO保护薄膜,在氮气气氛条件下,研究了这些薄膜的结构、粘合力、耐磨性等随退火温度的变化规律和掺Ti对其性能的影响.得出结论:沉积的薄膜是非晶态薄膜,这些薄膜的耐磨能力达到10-8mm3/Nm;掺Ti能增强薄膜的柔韧性和负载能力,但在400℃及以上退火条件下,薄膜的结构、粘合力、耐磨能力等开始变化,而OEM为40%的复合CrCO-Ti薄膜具有较好的热稳定性.

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来源
《2007年度陶瓷-金属封接与真空开关管用管壳技术进步研讨会》|2007年|87-90|共4页
会议地点北京
作者
胡作启;
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作者单位

中国电子科技集团公司;

真空电子技术编辑部;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜物理学 ;
关键词
硬薄膜; 复合CrCO-Ti薄膜; 氧化物; 热稳定性;

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