光学杠杆法微形变测量中光斑中心求取方法研究

摘要

首先简要介绍了光学杠杆法徼形变测量系统组成及其原理，然后进一步研究了光学杠杆法中的光斑特征及其常有畸变，在此基础上研究了中心求取方法。针对光斑常见的平台畸变和本系统易出现的光斑倾角问题提出了多椭圆环质心法和曲面拟合法相结合的方法，进行光斑中心的求取。理论分析和实验结果表明：该方法能有效消除光斑中心平台、烧孔及衍射孔等畸变，并可以为倾角判断提供依据。、