回转误差测量新方法的研究

摘要

基于摄影测量学,提出了CCD光电检测系统直接测量回转精度的新方法,阐述了测量方法的基本原理,包括阵列标靶的选取、数字图像处理技术、测量系统的标定和测试结果分析处理等。实验结果表明该方法可实现超高精密回转误差的在线测量,并且充分利用标靶特征分布可获得高精度的角度定位信息。同时,全方位的数字信号可以为进一步的在线误差补偿提供更为丰富的信息。在回转精度标定为0.1um以内的圆度仪回转轴上,目前测得的回转精度达到1.792um。通过一系列的稳定性实验和改善实验环境,测量精度有望进一步提高。