超高纯氯气的大规模产业化生产

摘要

超纯氯是半导体、光纤生产的重要原材料，近年来我国的半导体、光纤工业已从研究向产业化生产发展，作为重要电子气体的超纯氯将发挥重要的作用。为确保产品的质量稳定、降低成本，对该产品进行产业化生产十分必要。