磁控溅射后硫化法制备铜锌锡硫薄膜太阳能电池

摘要

本团队采用磁控溅射后硫化法制备铜锌锡硫电池。先在玻璃衬底上共溅射SnS2,Cu以及ZnS三种化合物，然后在硫化氢气氛中高温退火而成。在前驱体中引入金属化合物ZnS，减少了在退火过程中因为元素挥发引起的组分偏差因素。通过了解退火条件与组分流逝之间的关系，可以再退火过程中能够通过适当的参数控制来获取想要的组分，从而制备高质量的CZTS薄膜。目前通过调整前驱体组分，优化工艺条件，可以制备出效率超过8%的铜锌锡硫薄膜太阳能电池。