氯化氢含水对生产三氯氢硅的影响

摘要

三氯氢硅的传统合成方法是氯化氢和硅粉在沸腾炉中反应，这种方法副产15%～20%的四氯化硅，虽然四氯化硅可通过氢化工艺转化为三氯氢硅，但需要在高温、高压条件下完成，且能耗高，腐蚀设备，资金投入也较大。目前四氯氢硅主要靠生产硅酸乙酯寻找出路，但是随着有机硅行业的迅猛发展，三氯氢硅的产量不断提高，副产品四氯化硅的产量也随之增加，生产硅酸乙酯只消耗有限的四氯化硅，这直接影响了三氯氢硅的生产。因此，必须采取有效的方法提高三氯氢硅的收率，减少四氯化硅的产量。介绍了氯化氢含水对生产三氯氢硅的影响，并论述了减少氯化氢中水含量的一些措施。