X波段LTCC埋置匹配电阻设计与制作

摘要

LTCC是实现埋置无源器件,提高微波组件集成度的理想方法之一。本文阐述了埋置匹配电阻设计的基本原理、仿真优化和制作工艺,以及层间传输线的垂直微波互连。针对X波段,利用三维电磁场软件HFSS设计了一种埋置匹配电阻,得到了比较理想的驻波曲线,并仿真分析了电阻精度对射频性能的影响.通过测试样品,驻波小于1.3。