大面积△E金硅面垒探测器的制备

摘要

本文介绍了厚度为32．8μm、36．8μm有效面积为314mm。大面积△E Au—Si面垒探测器的工艺，主要用途，测试结果(对Thc—c8．78Mevα粒子的能损△E的分辩率为15％左右)等．