射频微机电系统及其在引信中的应用

摘要

射频微机电系统(Radio Frequency Microelectronicmechanical system,RFMEMS)是MEMS的重要分支,近年来得到了较快发展.分析了RF MEMS电容、电感等器件的研究现状,得到RF MEMS器件具有体积小、性能高、成本低等优点。RF MEMS工艺与集成电路(IntegratedCircuit,IC)工艺相兼容,易于实现单片集成,为引信实现小型化提供了技术途径.RF MEMS引信的体积大幅度降低,引信在弹药中的布设变得灵活,从而提高弹丸的装药量和杀伤性,在未来战争中取得优势地位.