双脉冲阳极氧化法制备TiO2纳米管阵列的研究

摘要

采用双脉冲阳极氧化法在钛片上成功制备了TiO2纳米管阵列,用FESEM和XRD对其形貌和结构进行了表征,详细考察了氧化工艺对其形貌的影响,并结合氧化过程对其形成机理进行了讨论,实验结果表明在脉冲阳极氧化工艺条件中阳极氧化时间,电解液浓度,晶化温度是生成TiO2纳米管的重要影响因素;TiO2纳米管阵列最佳生长工艺条件为:HF电解液浓度0.5Wt%HF,反应时间25min,室温,晶化温度为480℃;从钛片阳极氧化的电流密度随时间的关系可知,整个氧化过程大致可分为阻挡层的形成,多孔层的形成和纳米管的稳定生长三个阶段。