真空顺序沉积法获得均匀稳定的钙钛矿薄膜

摘要

本文采用PbCl2和CH2NH71前驱物的顺序沉积法，制备了均匀、致密、高稳定性的钙钛矿薄膜，且电子传输层为溅射制备的ZnO，用顺序沉积法制备钙钛矿薄膜，需要解决的关键问题是让PbCl2与CH3NH31充分反应，并得到厚度适当的钙钛矿薄膜。鉴于PbCl2的速率高度可控，而CH3NH31的蒸发速率不易控，将PbCl2的蒸发速率控制在一定范围，而CH3NH31米用温控蒸发，温度控制在120℃下制备的钙钛矿薄膜具有高的稳定性。