太阳玻璃用有机无机杂化硅减反膜的制备

摘要

在普通碱性镀膜液中添加少量含氢硅油(PMHS)，制备出有机无机杂化硅镀膜液，并采用提拉镀膜法在硼硅玻璃表面制备出透过率提高7%，水滴接触角达到1300的疏水性减反薄膜。详细探究了提拉速度和PMHS含量对疏水性的变化规律，发现当m(PMHS):m(SiO2)比值在0.75，提拉速度0.35时薄膜的光学性能和疏水性能达到最优平衡。对热处理温度进行了研究，发现此种有机无机杂化硅薄膜的在600℃以内保持稳定。对薄膜的围观形貌研究发现，相对于普通多孔SiO2薄膜而言，有机无机杂化硅薄膜拥有更高的粗糙度和孔隙率，对降低薄膜折射率，提高可见光透过率起到有益作用。