用于HIT太阳电池的ZAO/Ag/ZAO复合透明导电膜优化设计

摘要

为获得高质量的透明导电薄膜,本文利用数值模拟计算,对制作在非晶硅,单晶硅(HIT)上的ZAO/Ag/ZAO复合透明导电膜的光学特性进行了优化设计。结果表明,在ZAO层的厚度为40 nm左右时可以得到最低的可见光反射率和最高的透过率。Ag层的加入尽管可以提高导电膜的导电性,但会增大对可见光的反射和吸收,对Ag层需要选择一个折衷厚度,以使对电池性能的改善最大化。在41nm厚的两层ZAO之间插入5nm厚的Ag,仍然可以保证600nm左右的光的透过率大于85%。