太阳能产业用硅料的新处理工艺

摘要

介绍了太阳能产业用的硅原料处理新工艺,包括自动酸腐蚀工艺,半导体中氧化硅片的处理及埚底料的循环腐蚀工艺。这些新工艺,扩大太阳能产业用的硅料种类,并为大批量生产提供设备及工艺参考。