统计制程控制在硅太阳能制造中的应用

摘要

在硅太阳能电池制造当中,有许多工序都有关键控制参数,如制绒的刻蚀量、扩散的方块电、氮化硅的膜厚等等,其对电池的电性能都直接影响。质量管理学中,统计制程控制(SPC)将给这些关键参数提供有力的帮忙,本文将通过硅太阳能制造中的实例,结合六西格玛专用软件Minitab,对SPC在硅太能阳能电池制造的应用加以描述。