微型气体动压径向短轴承-转子系统动态特性研究

摘要

受当前微加工工艺的限制,MEMS微型旋转机械中常用的气体轴承具有长径比小、气隙大等特点.针对该特点,对微型动压气体径向短轴承-转子系统的动力学特性进行分析.计算结果表明,该系统具有丰富的非线性特性;在初始偏心率较小的条件下,系统响应出现低频涡动,且涡动频率和幅值随着转速的增高而增大;当初始偏心率较大时,系统响应出现半频涡动.