微机械传感器及其在直升机上的应用分析

摘要

微机械传感器具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和智能化的优点.如果能提高某些特殊适应性,应用于武装直升机上,将会大大提高直升机航电系统的性能,同时又能减轻重量,强化核心作战能力.用MEMS技术加工制作的微结构传感器具有微型化、可集成化、阵列化、智能化、低功耗、低成本、高可靠性、易批量生产、可实现多点多参数检测等一系列优点，受到各国研究者的重视。尽管目前开发的传感器还有某些不足之处，尤其是应用于直升机上时对环境的适应能力有待进一步加强。但是，随着使用需求的增强和科研工作的深入，在不久的将来必有更多结构更新、性能更优异、环境适应能力更强的航空新型传感器问世。