铝酸镧薄膜的发光特性研究

摘要

本文采用射频磁控溅射法在Si衬底上制备了非晶的铝酸镧(LaAlO3)薄膜，在空气环境中,分别在800、850、950℃进行了后退火处理。根据样品的吸收谱,在室温下测量了样品的发射谱,激发光波长分别为365、410、435nm。结果表明，随着退火温度的提高,样品发光峰的强度逐渐增强。