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中国物理学会;
强流束偏转; 空间电荷效应; 数值模拟; GPT程序; 强流电子束;
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机译:模式例如掩模,用于目标工件的书写装置,具有偏转板,该偏转板基于电子束照射时间使带电粒子的电子束偏转,并且具有用于阻止电子束逐板偏转的孔径
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