碲锌镉衬底研究进展

摘要

碲锌镉是制备碲镉汞红外焦平面探测器的一种理想衬底材料.本文介绍了上海技术物理研究所在碲锌镉衬底研制方面的最新进展.采用垂直布里奇曼法实现了Φ90mm单晶的常规生长,可以小批量制备50×50mm2衬底.成功试验生长了Φ120mm大直径单晶,最大可获得80×80mm2衬底.搭建了一套红外透射显微扫描拼图系统,表征整片衬底的缺陷分布,衬底腐蚀坑分布均匀,无网络状分布结构,晶锭平均EPD在1～4×104cm-2范围内.通过对第二相夹杂/沉淀的分布规律的研究,提出将尺寸5μm作为划分夹杂与沉淀的主要参考依据.通过将夹杂/沉淀的尺寸与数量归一化为第二相浓度,研究了第二相浓度与晶锭化学计量比偏离的关系,结果表明,在相同化学计量比条件下,晶锭平均第二相浓度的最大值与化学计量比偏离程度成正比,通过严格控制晶锭的化学计量比,可以实现原生晶锭无夹杂和沉淀.