一种评价硅微陀螺性能的电路分析方法

摘要

硅微机械陀螺具有体积小，成本低，功耗低，可批量生产等优点，在航空航天、导航制导、消费电子等领域应用广泛。陀螺真空封装后，通常检测的陀螺工作模态是否正常来判定陀螺是否正常工作，但是工作模态不能全面反映陀螺的性能。评价陀螺性能的指标有很多，通常有零偏、零偏稳定性、标度因数非线性度、分辨率、量程、带宽等。传统的微机械陀螺测试方法耗费时间比较长，测试系统比较复杂，需要专用设备，工作量很大。本文基于双正弦载波调制的测控电路，经过大量的电路调试工作，首次利用电路分析方法，提出了三种评价硅微陀螺性能的指标。