小电流测量单元校准技术研究

摘要

在电子、航空航天领域及型号工程中小电流测试设备(如静电计、皮安表、源/测量单元、半导体精密分析仪等),发挥着极其重要的作用,其电流测量分辨力达到fA级,接近其物理极限值.对这些高灵敏度、高分辨力的精密小电流测量仪器进行参数校准是一项新的计量难题.本文校准装置使用Fluke公司生产的5440B型高精度直流电压源和自行研制的高值电阻器，软件采用VC++编写程序完成了对Keithley公司6517B型静电计(20pA-2μA电流量程)的自动校准，同时实现了在线自动生成原始记录和校准证书。满足了小电流测量单元自动校准的需求，解决了对这些高灵敏度、高分辨力的精密小电流测量仪器进行参数校准的计量难题。