运用电子背散射衍射技术研究高纯金溅射靶材的微观组织与织构

摘要

运用电子背散射衍射(EBSD)技术,对通过优化真空熔炼工艺制备的高纯金溅射靶材不同区域的微观组织、晶界取向差和织构组分进行了研究.结果表明:高纯金靶材组织由细小的等轴晶组成,平均晶粒尺寸为206nm,样品在轧制过程中发生了再结晶,样品所测得的织构(110)平行于轧面,轧向不确定,为较弱的织构.EBSD技术相较其他分析技术,具有快速高效的定量统计材料的微观组织结构、织构、晶粒尺寸、取向差的特征,是高纯金靶材微观组织的一种有效分析手段.