基于MEMS的微型密度黏度传感器的初步研究

摘要

本文对基于MEMS微型密度黏度传感器进行了初步研究，讨论了传感器工作原理和理论模型。在此基础上，初步设计了传感器的外形尺寸、组成元件和微加工制造流程，综合考虑相对质量和共振频率与相对尺寸的变化关系，选取传感器的长度厚度比和宽度厚度比分别为75和90，长度、宽度和厚度分别为1.5mm、1.8mm和20μm，本文设计结果为基于MEMS微型密度黏度传感器进一步的研究提供了基础。