3ω法在微纳米热表征中最新研究进展

摘要

对3ω法的测试功能拓展的最新研究进展进行阐述。3ω法的最近研究领域主要包括：薄膜与基体间界面热阻测量、单根碳纳米管导热系数、微量液体导热系数和比热、薄膜表面导热系数空间分布图像描述以及高频区域测量等方面。界面热阻、3ω谐波中的非线性分量、交感电场等是改善3ω法测试精度的关键因素。最后对3ω的发展趋势进行了分析。