直管型254 nm紫外辐射源总辐射通量的传递装置

摘要

简述了直管型254 nm紫外辐射源总辐射通量的量值传递装置，分别介绍了绝对法和相对法测量总辐射通量的原理，并讨论了使用绝对法测量紫外辐射通量过程中存在的误差源和修正方法，对传递装置不确定度进行了分析。实验结果表明该传递装置测量紫外辐射源的总辐射通量准确可靠，具备传递量值的能力。