基于SU-8材料的波导生化传感器

摘要

本文介绍了基于消逝场原理，利用SU-8光刻胶制备检测溶液或血液中NaCI含量的马赫-曾德尔干涉仪型(MZI)导波光学生物传感器。分析了为满足传感需要的波导结构设计，通过控制SU-8折射率使其可作为波导芯/包层并制作了器件，得到了较好的近场输出光斑。