电子工业洁净厂房节能路径

摘要

随着现代产品生产、科学实验对加工/实验过程的微细化、精密化和高纯度的要求日益严格，科学实验和产品生产的实践，对洁净生产环境的要求日益严格、确切和细化。本文介绍了电子工业洁净厂房的特点，对洁净厂房的能量消耗状况进行了初步分析，浅谈了电子工业洁净厂节能路径，列举了电子工厂洁净厂房节能实例。